株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

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多軸ステージシステム
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52-6DoF

52-6DoF

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

52-6DoF

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

TRIPOD 52-6Dofは、CLS-52モジュラーシステムをベースに構築された6軸ステージシステムです。
XY軸31mm, Z軸5mmの直線移動範囲に、θx17°、θy19°更にθzは360の回転範囲を持っています。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

主な仕様

移動距離 X=31mm, Y=31mm, Z=5mm, θx=17°, θy=19°, θz=360° 耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 88x61x81mm 重量 550g
分解能(Closed loop時) 1nm
1μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±200nm(フルレンジ)/±15nm(1mmレンジ)
±10μrad

92-6DoF

92-6DoF

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

92-6DoF

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

TRIPOD 92-6Dofは、CLS-92モジュラーシステムをベースに構築された6軸ステージシステムです。
XY軸63mm,Z軸10mmの直線移動範囲に、θx26°、θy30°更にθzは360の回転範囲を持っています。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

主な仕様

移動距離 X=63mm, Y=63mm, Z=10mm, θx=26°, θy=30°, θz=360° 耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 142x101x89mm 重量 1850g
分解能(Closed loop時) 1nm
1μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±200nm(フルレンジ)/±15nm(1mmレンジ)
±10μrad

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