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対応ステージ
こちらのステージは、モジュラーシステムに対応しており、複合システム構築が容易に実現出来ます。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 21mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
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耐荷重 | 30N | 外形 | 32x32x11mm |
重量 | 33g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 31mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.0N |
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耐荷重 | 20N | 外形 | 52x52x14mm |
重量 | 94g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SR-3211は、CLS-32やSLS-32シリーズのリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | 360° | 推力 | 2Ncm |
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耐荷重 | 3N | 外形 | 32x32x11mm |
重量 | 35g | 最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 25μ° |
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SR-5014は、CLSやSLSシリーズのリニアステージやSGOゴニオステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | 360° | 推力 | 5Ncm |
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耐荷重 | 20N | 外形 | 50x50x14mm |
重量 | 100g | 最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
CHS-5237-1D10N-10は、分離ドライブ型モジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動距離 | 10mm | 耐荷重 | 10N |
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外形 | 52x52x37mm | 重量 | 270g |
最大速度 | 4mm/s | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 100nm(Sセンサー), 200nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
SLS-52シリーズと組み合わせたり、SGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | ±5° | 推力 | 20Ncm |
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耐荷重 | 5N | 回転半径 | 77.5mm |
外形 | 50x50x17mm | 重量 | 140g |
最大速度 | 4°/s | 分解能(Closed loop時) | 0.03μ°(Sセンサー), 0.12μ°(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | 0.12μ°(Sセンサー) |
アクセサリー
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ベースプレート
ベースプレートは、ステージを光学ベンチやブレッドボードに簡単に取り付けするためのプレートです。 プレートにはステージを取り付ける穴に加えてケーブルを押さえるクランパーを取り付ける穴もあります。
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スペーサ
スペーサは、ステージ対応した外形を持った各種サイズが用意されています。
スペーサは、ブレッドボードに取り付けたり、ステージの上に取り付けることができます。 -
ブラケット
ブラケットは、ステージを垂直に固定しZ軸としてご利用される時に使用します。ブラケットは水平ステージの上またはベースプレートに取り付けることができ、SLCシリーズ、SLSシリーズ、回転ステージに対応した幾つかの種類をご用意しております。
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アダプタープレート
水平ステージと回転ステージの組み合わせるやブラケットと回転ステージを取り付ける場合に必要なアクセサリーです。
アダプタープレートは、ご使用になるステージによって幾つかの種類をご用意しております。 -
定荷重バネ
定荷重バネは、ステージを垂直取り付ける時の静的荷重を持たせる場合に使用します。
垂直取り付けるステージとブラケットに固定可能です。 -
ケーブルクランパー
ケーブルクランパーは、ステージケーブルをベースプレートに固定するためのクランパーです。 ケーブル数に応じてサイズの異なるクランパーをご用意しております。