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分離ドライブ型ステージ- ピエゾステージ -
SmarAct社では新しく分離ドライブユニット（EDU）を開発いたしました。EDUは従来のStick-Slipドライブテクノロジーを丈夫でコンパクトに収納し、ステージ本体から取り外し可能な分離型モジュールとしました。
これによりステージ本体を交換することなく、お客様ご自身でドライブユニットを交換でき、ステージを長い期間ご使用いただくことができます。
CLSシリーズ
CLSシリーズは、Stick-Slipのピエゾドライブユニットを取り外し可能な設計としました。
ピエゾドライブユニットが交換可能なため、簡単なメンテナンスと高い保守性を実現しました。
3種類の幅が異なるステージが用意されています。
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
| 移動距離 | 21mm | 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 30N | 外形 | 32x32x11mm |
| 重量 | 33g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
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● 主な仕様
| 移動距離 | 31mm | 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 30N | 外形 | 32x52x11mm |
| 重量 | 54g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
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● 主な仕様
| 移動距離 | 51mm | 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 30N | 外形 | 32x82x11mm |
| 重量 | 87g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
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● 主な仕様
| 移動距離 | 31mm | 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 52x52x14mm |
| 重量 | 94g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
| 移動距離 | 51mm | 推力 | 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 52x82x14mm |
| 重量 | 157g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
| 移動距離 | 63mm | 推力 | 水平方向：3.5N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 92x92x17mm |
| 重量 | 357g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
| 移動距離 | 103mm | 推力 | 水平方向：3.5N |
|---|---|---|---|
| 耐荷重 | 20N | 外形 | 92x152x17mm |
| 重量 | 558g | 最大速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） | 繰返し精度（Closed loop時） | ±50nm（Sセンサー）, ±100nm（Lセンサー） |
