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ミラーマウントSTTシリーズ
STTシリーズは、ミラーマウントとしてご利用いただける2軸チルトマウントです。
ミラーサイズに応じたラインアップをご用意しております。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
STT-12.7は、SmarAct社の最も小型のミラーマウントです。
0.5”のミラーを装着することができます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | ±2° | 対応ミラー径 | 0.5” |
---|---|---|---|
外形 | 20x20x10mm | 重量 | 20g |
最大速度 | 15°/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
STT-25.4は、1”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | ±2.5° | 対応ミラー径 | 1” |
---|---|---|---|
外形 | 36x36x12mm | 重量 | 25g |
最大速度 | 15°/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
STT-50.8は、2”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | ±1° | 対応ミラー径 | 2” |
---|---|---|---|
外形 | 61x61x18mm | 重量 | 30g |
最大速度 | 15°/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
STT-2013は、ジンバルタイプのミラーマウントです。
他のSTTミラーマウントはチルト角の移動範囲に制約がありますが、STT-2013は360°回転できるジンバル型になっています。
装着できるミラーは、0.5”と1”からお選びいただけます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
● 主な仕様
移動角度 | ±90° | 対応ミラー径 | 0.5”または1” |
---|---|---|---|
外形 | 35x46x61mm | 重量 | 30g |
最大速度 | 45°/s | 分解能(Closed loop時) | 25μ°(Sセンサー) |
アイリスSIDシリーズ
SIDシリーズは、ピエゾで駆動できる電動アイリスです。
異なる開口径をラインナップにご用意しております。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SID-7は、開口径7mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
アパチャーサイズ | 0.5〜7mm | 外形 | 60x13x55mm |
---|---|---|---|
重量 | 100g | 分解能(Closed loop時) | 1μm |
開口速度 | 4mm/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SID-18は、開口径18mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
アパチャーサイズ | 1〜18mm | 外形 | 60x13x55mm |
---|---|---|---|
重量 | 105g | 分解能(Closed loop時) | 1μm |
開口速度 | 6mm/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SID-50は、開口径18mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
アパチャーサイズ | 5〜50mm | 外形 | 140x18x130mm |
---|---|---|---|
重量 | 530g | 分解能(Closed loop時) | 1μm |
開口速度 | 6mm/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SID-5714は、最小完全遮光から最大25mmのアパチャーをもつ電動アイリスです。
オプションで高真空・超高真空・さらに非磁性対応のクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様【SID-5714-18】
アパチャーサイズ | 1.2〜18mm | 外形 | 57x19.9x57mm |
---|---|---|---|
重量 | 130g | 分解能(Closed loop時) | 1μm |
開口速度 | 6mm/s |
● 主な仕様【SID-5714-22】
アパチャーサイズ | 0〜22mm | 外形 | 57x19.9x57mm |
---|---|---|---|
重量 | 130g | 分解能(Closed loop時) | 1μm |
開口速度 | 6mm/s |
● 主な仕様【SID-5714-25】
アパチャーサイズ | 4〜25mm | 外形 | 57x19.9x57mm |
---|---|---|---|
重量 | 130g | 分解能(Closed loop時) | 1μm |
開口速度 | 6mm/s |
アフィルターホイールSFWシリーズ
SFWシリーズは、ピエゾで駆動できる電動フィルターホイールです。
フィルター数やフィルターサイズの異なるホイールをラインナップにご用意しております。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SFW-6-25.4は、直径1”のフィルターを6個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
フィルターサイズ | 1” | フィルター数 | 6 |
---|---|---|---|
外形 | 105x35x113mm | 重量 | 260g |
分解能(Closed loop時) | 15μ°(Sセンサー), 60μ°(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SFW-8-25.4は、直径1”のフィルターを8個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
フィルターサイズ | 1” | フィルター数 | 8 |
---|---|---|---|
外形 | 114x31x121mm | 重量 | 300g |
分解能(Closed loop時) | 15μ°(Sセンサー), 60μ°(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SFW-5-50.8は、直径2”のフィルターを5個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
フィルターサイズ | 2” | フィルター数 | 5 |
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外形 | 165x35x172mm | 重量 | 450g |
分解能(Closed loop時) | 15μ°(Sセンサー), 60μ°(Lセンサー) |
スリットユニットSMS シリーズ
SMSシリーズは、スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットです。フィードバックセンサを内蔵することも可能ですので、スリット位置を正確に制御することができます。
SMSシリーズには、1方向スリットと2方向スリットの2種類をご用意しております。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SMS-20-0は、一方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
スリット軸数 | 1 | スリット可動範囲 | 0〜20mm |
---|---|---|---|
外形 | 75x75x20mm | 可動速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SMS-20-20は、二方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
● 主な仕様
スリット軸数 | 2 | スリット可動範囲 | 0〜20x0〜20mm |
---|---|---|---|
外形 | 75x75x20mm | 可動速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー) |