株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

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精密ステージ・測定器(精密ステージ:特殊ステージ)


ミラーマウントSTTシリーズ

ミラーマウントSTTシリーズ

STTシリーズは、ミラーマウントとしてご利用いただける2軸チルトマウントです。
ミラーサイズに応じたラインアップをご用意しております。


STT-12.7

STT-12.7

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*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

STT-12.7

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

STT-12.7は、SmarAct社の最も小型のミラーマウントです。
0.5”のミラーを装着することができます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動角度 ±2° 対応ミラー径 0.5”
外形 20x20x10mm 重量 20g
最大速度 15°/s

STT-25.4

STT-25.4

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STT-25.4

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

STT-25.4は、1”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動角度 ±2.5° 対応ミラー径 1”
外形 36x36x12mm 重量 25g
最大速度 15°/s

STT-50.8

STT-50.8

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STT-50.8

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

STT-50.8は、2”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動角度 ±1° 対応ミラー径 2”
外形 61x61x18mm 重量 30g
最大速度 15°/s

STT-2013

STT-2013

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STT-2013

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

STT-2013は、ジンバルタイプのミラーマウントです。
他のSTTミラーマウントはチルト角の移動範囲に制約がありますが、STT-2013は360°回転できるジンバル型になっています。
装着できるミラーは、0.5”と1”からお選びいただけます。

高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

主な仕様

移動角度 ±90° 対応ミラー径 0.5”または1”
外形 35x46x61mm 重量 30g
最大速度 45°/s 分解能(Closed loop時) 25μ°(Sセンサー)

アイリスSIDシリーズ

アイリスSIDシリーズ

SIDシリーズは、ピエゾで駆動できる電動アイリスです。
異なる開口径をラインナップにご用意しております。


SID-7

SID-7

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STT-12.7

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SID-7は、開口径7mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

アパチャーサイズ 0.5〜7mm 外形 60x13x55mm
重量 100g 分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 4mm/s

SID-18

SID-18

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SID-18

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SID-18は、開口径18mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

アパチャーサイズ 1〜18mm 外形 60x13x55mm
重量 105g 分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s

SID-50

SID-50

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SID-50

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SID-50は、開口径18mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

アパチャーサイズ 5〜50mm 外形 140x18x130mm
重量 530g 分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s

SID-5714

SID-5714

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SID-5714

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SID-5714は、最小完全遮光から最大25mmのアパチャーをもつ電動アイリスです。

オプションで高真空・超高真空・さらに非磁性対応のクローズドループ制御も可能です。

主な仕様【SID-5714-18】

アパチャーサイズ 1.2〜18mm 外形 57x19.9x57mm
重量 130g 分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s

主な仕様【SID-5714-22】

アパチャーサイズ 0〜22mm 外形 57x19.9x57mm
重量 130g 分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s

主な仕様【SID-5714-25】

アパチャーサイズ 4〜25mm 外形 57x19.9x57mm
重量 130g 分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s

アフィルターホイールSFWシリーズ

アフィルターホイールSFWシリーズ

SFWシリーズは、ピエゾで駆動できる電動フィルターホイールです。
フィルター数やフィルターサイズの異なるホイールをラインナップにご用意しております。


SFW-6-25.4

SFW-6-25.4

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SFW-6-25.4

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SFW-6-25.4は、直径1”のフィルターを6個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

フィルターサイズ 1” フィルター数 6
外形 105x35x113mm 重量 260g
分解能(Closed loop時) 15μ°(Sセンサー), 60μ°(Lセンサー)

SFW-8-25.4

SFW-8-25.4

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SFW-8-25.4は、直径1”のフィルターを8個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

フィルターサイズ 1” フィルター数 8
外形 114x31x121mm 重量 300g
分解能(Closed loop時) 15μ°(Sセンサー), 60μ°(Lセンサー)

SFW-5-50.8

SFW-5-50.8

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SFW-5-50.8

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SFW-5-50.8は、直径2”のフィルターを5個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

フィルターサイズ 2” フィルター数 5
外形 165x35x172mm 重量 450g
分解能(Closed loop時) 15μ°(Sセンサー), 60μ°(Lセンサー)

スリットユニットSMS シリーズ

SMSシリーズは、スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットです。フィードバックセンサを内蔵することも可能ですので、スリット位置を正確に制御することができます。
SMSシリーズには、1方向スリットと2方向スリットの2種類をご用意しております。


SMS-20-0

SMS-20-0

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SMS-20-0

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SMS-20-0は、一方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

スリット軸数 1 スリット可動範囲 0〜20mm
外形 75x75x20mm 可動速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー)

SMS-20-20

SMS-20-20

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SMS-20-20

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SMS-20-20は、二方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

主な仕様

スリット軸数 2 スリット可動範囲 0〜20x0〜20mm
外形 75x75x20mm 可動速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー)

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