計測機器
光学式エンコーダ
光学式エンコーダ
SmarAct社のラインアップに新しく光学式インクリメンタル型エンコーダMETIRIOが加わりました。
METIRIOは、読取ヘッドの小型化と高分解能、高速対応を実現するために設計されています。
低消費電力で超高真空にも対応していますので、幅広いアプリケーションでの応用が可能です。
読取ヘッドはモジュール式ですので、OEM製品としてのご提供やカスタマイズも可能です。
METIRIOはオプションとしてパラメータ設定が可能なソフトウエアも用意されており、読取ヘッドを取り付ける際の作業効率の低減にお役立ていただけます。
製品構成
METIRIOチップパッケージ
METIRIOチップパッケージは、サイズ6.6x5.1x1.7mmの超小型な読取ヘッドです。
光学コンポーネントと電気コンポーネントがフリップチップに組み込まれています。
主な仕様
| 本体仕様 | |
|---|---|
| 外形 | 6.6x5.1x1.7mm |
| 消費電流 | 20mA |
| 最小分解能 | 0.4nm@1m/s |
| 追従速度 | 10m/s |
| 中心波長 | 850nm |
| 電気仕様 | |
| 入力電圧 | 3 – 5.5V |
| 位置出力信号 | 1Vpp(正弦波) |
| 原点出力信号 | RS485 |
| 環境仕様 | |
|---|---|
| 真空対応 | 高真空(10-6mbar)・超高真空(10-11mbar) |
| ベーキング温度 | 160℃ |
| 使用温度・湿度 | 0 – 80℃/80%（結露なし） |
| スケール仕様 | |
| グレーティングタイプ | 反射型 |
| スケールピッチ | 20μm |
| スケールタイプ | リニア・回転(直径12mm以下)・凸面 |
| ワーキングディスタンス | 1.2mm |
METIRIO-A1
EMETIRIO-A1は、読取ヘッドにケーブルとD-subコネクタが接続され、簡単に取り付けが可能な標準タイプの読取ヘッドです。
D-subコネクタからは差動アナログ信号とI2Cインターフェース信号が出力されています。
オプションの逓倍モジュールにも簡単に接続できます。
SmarAct社では、METIRIO-A1以外のカスタマイズの読取ヘッドもご提供可能です。
主な仕様
| 本体仕様 | |
|---|---|
| 外形 | 17x10x4mm |
| 消費電流 | 20mA |
| 最小分解能 | 0.4nm@1m/s |
| 追従速度 | 10m/s |
| 中心波長 | 850nm |
| 電気仕様 | |
| 入力電圧 | 3 – 5.5V |
| 位置出力信号 | 1Vpp(正弦波) |
| 原点出力信号 | RS485 |
| 環境仕様 | |
|---|---|
| 真空対応 | 高真空(10-6mbar)・超高真空(10-11mbar) |
| ベーキング温度 | 150℃ |
| 使用温度・湿度 | 0 – 80℃/80%（結露なし） |
| スケール仕様 | |
| グレーティングタイプ | 反射型 |
| スケールピッチ | 20μm |
| スケールタイプ | リニア・回転(直径12mm以下)・凸面 |
| ワーキングディスタンス | 1.2mm |
各種スケール
METIRIOエンコーダは、20μmピッチのスケールの互換性も持っています。スケールはリニアのみならず、回転・凸形状でも１つの読取ヘッドで対応する事ができます。 SmarAct社では、様々なスケールをご提供いたします。
特徴
リニアスケール最長長さ：2m
回転スケール直径13〜95.5mmに対応
ゴニオステージ用のスケールにも対応
柔軟な素材に対応
原点マークに対応
インターフェースモジュール
METIRIOインターフェースモジュールは、アナログ信号をA/B/Z相に変換する逓倍モジュールです。
小型のモジュールですので、装置への組み込みも容易です。
評価キット
METIRIO評価キットは、METIRIOエンコーダの簡単な評価と機能を確認いただくためのスタンドアローンキットです。
コンポーネント
評価キットには以下のコンポーネントが含まれます。
スライド(EES)
評価モジュール(EEM)
標準ソフトウエア(EEP)
評価モジュールと標準ソフトウエアを組み合わせるとアプリケーションに組み込んだ後のエンコーダ信号を調整・診断に活用することもできます。
