精密ステージ
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ロータリーステージ(ロングレンジピエゾステージ)
ロータリーステージ
SmarAct社では、回転ステージにもStick-Slipドライブを採用しており、小型なロータリーステージや中空ステージなど、様々なラインアップをご用意しております。
全ての回転ステージが360°リミット無しで制御され、フィードバックセンサを内蔵することが可能です。
SR-1908は、SmarAct社の回転ステージで最も小型なオープンループ専用のステージです。
ステンレスベアリングと7mmのアパチャーを持ち、狭いスペースでのご利用に最適です。
SR-2013は、クローズドループ対応の最軽量回転ステージです。
セラミックベアリングにより高精度と低い偏心を実現しています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
型番 | SR-2013 |
---|---|
移動角度 | 360° |
推力 | 0.5Ncn |
耐荷重 | 3N |
外形 | 25.5x20x10.2mm |
重量 | 11g |
最大速度 | 45°/s |
分解能(Closed loop時) | 25μ° |
アパチャー | - |
SR-2812は、9mmのアパチャーをもつクローズドループ対応の小型回転ステージです。
セラミックベアリングにより高精度と低い偏心を実現しています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
型番 | SR-2812 |
---|---|
移動角度 | 360° |
推力 | 3Ncn |
耐荷重 | 3N |
外形 | 37.5x30x12mm |
重量 | 35g |
最大速度 | 30°/s |
分解能(Closed loop時) | 25μ° |
アパチャー | 9mm |
SR-3211は、CLS-32シリーズのリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。
型番 | SR-3211 |
---|---|
移動角度 | 360° |
推力 | 2Ncn |
耐荷重 | 3N |
外形 | 32x32x11mm |
重量 | 35g |
最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 25μ° |
アパチャー | - |
SR-4011は、ステンレスベアリングにより高い剛性をもった回転ステージです。
回転面が比較的大きいにも関わらず、厚みは薄く設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
型番 | SR-4011 |
---|---|
移動角度 | 360° |
推力 | 3Ncn |
耐荷重 | 10N |
外形 | 40x40x11mm |
重量 | 60g |
最大速度 | 30°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャーサイズ | 9mm |
SR-4513は、ステンレスベアリングにより高い剛性をもった回転ステージです。
9mmのアパチャーを設けてあります。
高真空のオプションもご用意しております。
型番 | SR-4513 |
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移動角度 | 360° |
推力 | 5Ncn |
耐荷重 | 20N |
外形 | 45x45x12.5mm |
重量 | 89g |
最大速度 | 30°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャー | 8mm |
SR-5014は、CLSシリーズのリニアステージやCGOゴニオステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
型番 | SR-5014 |
---|---|
移動角度 | 360° |
推力 | 5Ncn |
耐荷重 | 20N |
外形 | 50x50x14mm |
重量 | 100g |
最大速度 | 30°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャー | 8mm |
SR-5714は、アパチャー25mmをもち光学系のアライメントなど幅広いアプリケーションにご利用いただけます。
高真空のオプションもご用意しております。
型番 | SR-5714 |
---|---|
移動角度 | 360° |
推力 | 7Ncn |
耐荷重 | 25N |
外形 | 57x57x14mm |
重量 | 110g |
最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャー | 25mm |
SR-5714Cは、セラミックベアリングを装着しており、アパチャー25mmもある回転ステージです。超高真空や非磁性のオプションもご用意しております。
型番 | SR-5714C |
---|---|
移動角度 | 360° |
推力 | 7Ncn |
耐荷重 | 25N |
外形 | 57x57x13.5mm |
重量 | 105g |
最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャー | 25mm |
SR-7012は、30mmの大きなアパチャーがあり、高さが12mmと薄いため、多くのお客様にご利用いただいている回転ステージです。
高真空のオプションもご用意しております。
型番 | SR-7012 |
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移動角度 | 360° |
推力 | 10Ncn |
耐荷重 | 25N |
外形 | 70x70x12mm |
重量 | 100g |
最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャー | 30mm |
SR-9219は、CLS-92のリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。
型番 | SR-9219 |
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移動角度 | 360° |
推力 | 10Ncn |
耐荷重 | 25N |
外形 | 92x92x19mm |
重量 | 450g |
最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャー | 27mm |
SR-9219Cは、CLS-92やMLS-92のリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。セラミックベアリングを用いており、超高真空や非磁性のオプションもご用意しております。
型番 | SR-9219C |
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移動角度 | 360° |
推力 | 10Ncn |
耐荷重 | 25N |
外形 | 92x92x19mm |
重量 | 250g |
最大速度 | 15°/s |
分解能(Closed loop時) | 15μ° |
アパチャー | 30mm |
SR-12012は、SmarAct社のステージの中で最大径のアパチャーをもつ回転ステージです。
厚みは12mmと薄型を維持しながら120x120mmの設置面積を持っています。
高真空のオプションもご用意しております。
型番 | SR-12012 |
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移動角度 | 360° |
推力 | 15Ncn |
耐荷重 | 20N |
外形 | 120x120x12mm |
重量 | 320g |
最大速度 | 5°/s |
分解能(Closed loop時) | 5μ° |
アパチャーサイズ | 82mm |