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精密ステージ

- 多軸ステージシステム(ヘキサポッドステージ SmarPod)
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ヘキサポッドステージSmarPod(多軸ステージシステム)

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ヘキサポッドステージ SmarPod

ヘキサポッドステージSmarPod

SmarAct社では、自由度が高く高精度なヘキサホッドステージSmarPodをご提供しています。
SmarPodは、ソフトウエアにより回転中心となるピボットポイントを自由に変更でき、XYZ軸と2軸チルト軸、回転軸を備えた汎用性の高い6軸ステージシステムです。
円形のベースプレートの3箇所にステージが取り付けられた円形タイプと、3台のリニアステージの上に直交した3台のステージが取り付けられた平行タイプがあります。
光ファイバーの結合やマイクロアセンブリングなど、様々なアプリケーションでご利用いただいております。


CLS-32図面

SmarPod CLS-32は、EDUドライブユニットを搭載したCLSシリーズをベースとしたシステムです。EDUドライブ搭載ですので、ドライブユニットが交換可能で、長期間にわたってご利用いただけます。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

CLS-32図面拡大 CLS-32図面拡大
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主な仕様
型番 SmarPod CLS-32
移動距離 X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=22°、θy=25°、θz=38°
耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 φ124x54mm
重量 520g
分解能(Closed loop時) 1nm、3μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±50nm
7042

SmarPod 70.42は、ラインアップの中で最も小型な円形タイプのヘキサポッドシステムです。
すべてのステージが直径70mmのベースプレートに収まっていながら、5〜10mmの移動距離を有しています。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

70.42図面 70.42図面拡大
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主な仕様
型番 SmarPod 70.42
移動距離 X=11mm、Y=11mm、Z=6mm、θx=22°、θy=23°、θz=31°
耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 φ70x42mm
重量 200g
分解能(Closed loop時) 1nm、3μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±50
110.45

SmarPod 110.45は、中型の円形タイプのヘキサポッドシステムです。
移動範囲が広いため様々なご用途に対応いたします。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

110.45図面 110.45図面拡大
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主な仕様
型番 SmarPod 110.45
移動距離 X=20mm、Y=20mm、Z=11mm、θx=23°、θy=26°、θz=38°
耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 φ110x45mm
重量 410g
分解能(Closed loop時) 1nm、3μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±50nm
225.75

SmarPod 225.75は、大型の円形タイプのヘキサポッドシステムです。
XY軸の移動範囲が40mmを超え、耐荷重は5Nまで対応いたします。
高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

225.75図面 225.75図面拡大
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主な仕様
型番 SmarPod 225.75
移動距離 X=42mm、Y=42mm、Z=24mm、θx=24°、θy=27°、θz=41°
耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 φ225x75mm
重量 2060g
分解能(Closed loop時) 1nm、3μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±50nm
P-SLC17

SmarPod P-SLC-17は、3台のリニアステージSLC-17の上に直交した3台のステージが取り付けられた平行タイプのヘキサポッドシステムです。
同等サイズの円形タイプと比べ、移動範囲が広いのが特徴です。 高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

P-SLC17図面 P-SLC17図面拡大
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主な仕様
型番 SmarPod P-SLC-17
移動距離 X=50mm、Y=30、Z=10mm、θx=25°、θy=22°、θz=16°
耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 110x70x67.4mm
重量 680g
分解能(Closed loop時) 1nm、3μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±50nm
P-SLC24

SmarPod P-SLC-24は、3台のリニアステージSLC-24をベースとした中型の平行タイプのヘキサポッドシステムです。
ラインアップの中でも比較的移動範囲が広く、幅広い用途にご利用いただいているシステムです。高真空・超高真空・非磁性オプションもご用意しております。

P-SLC24図面 P-SLC24図面拡大
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主な仕様
型番 SmarPod P-SLC-24
移動距離 X=102mm、Y=62mm、Z=17mm、θx=33°、θy=33°、θz=36°
耐荷重 垂直:5N、水平:2.5N
外形 195x91x81mm
重量 1890g
分解能(Closed loop時) 1nm、3μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±50nm
P-CLL

SmarPod P-CLLは、CLLシリーズに3つのキャリアを搭載した超大型平行タイプのヘキサポッドシステムです。
X方向のCLLステージにY方向のSLCステージを載せて、X方向は最大1200mmの移動範囲のオプションが可能です。高真空オプションもご用意しております。

P-CLL図面 P-CLL図面拡大
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主な仕様
型番 SmarPod P-CLL
移動距離 X=330mm、Y=62mm、Z=17mm、θx=33°、θy=33°、θz=36°
耐荷重 垂直:4N、水平:2N
外形 554x45x72mm
重量 2900g
分解能(Closed loop時) 1nm、3μrad
繰返し精度(Closed loop時) ±100nm

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