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精密ステージ

- ロングレンジピエゾステージ(ゴニオステージ)
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ゴニオステージ(ロングレンジピエゾステージ)

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ゴニオステージ

ゴニオステージ

SmarAct社では2つの回転半径を持つゴニオステージを用意しています。
コンパクトで正確なスイベル動作が必要なアプリケーションに最適です。
分離型ドライブモジュールを採用していますので、回転中心を調整した後のサービス時でもステージを取り外す必要がありません。


CGO60.5.jpg

CGO-60.5は、60.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-77.5の上に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心に形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

CGO-60.5図面 CGO-60.5図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CGO-60.5図面拡大

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CGO-60.5
移動角度 ±5°
推力 30Ncn
耐荷重 5N
外形 50x50x17mm
回転半径 60.5mm
重量 140kg
最大速度 4°/s
分解能(Closed loop時) 2μ°(Sセンサ)、8μ°(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±100μ°
CGO-77.5

CGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心に形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

CGO-77.5図面 CGO-77.5図面拡大
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CGO-77.5図面拡大

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CGO-77.5
移動角度 ±5°
推力 38Ncn
耐荷重 5N
外形 50x50x17mm
回転半径 77.5mm
重量 140kg
最大速度 4°/s
分解能(Closed loop時) 2μ°(Sセンサ)、8μ°(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±100μ°

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