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SLC17シリーズ
SLC-17シリーズは、数多くの実績を持つSmarAct社の代表的なリニアステージです。高い安定性と高精度に優れ、幅17mm、高さ8.5mmとコンパクトながら、クローズドループ用のフィードバックセンサを内蔵することも可能です。
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● 主な仕様
ストローク | 12〜51mm | ステージ長 | 20〜80mm |
---|---|---|---|
エンコーダ分解能 | 1nm | ステージ幅 | 17mm |
推力 | 3.5N | ステージ高さ | 8.5mm |
最大耐荷重 | 20N | 重量 | 13〜51g |
最高速度 | 20mm/s | 真空対応 | HV・UHV |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 12mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 20N | 外形 | 22x17x8.5mm |
重量 | 13g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±25nm(Sセンサー), ±50nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 21mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 30x17x8.5mm |
重量 | 20g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 26mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 40x17x8.5mm |
重量 | 26g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±40nm(Sセンサー), ±80nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 31mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 50x17x8.5mm |
重量 | 32g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 41mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 60x17x8.5mm |
重量 | 38g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±60nm(Sセンサー), ±120nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 46mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 70x17x8.5mm |
重量 | 45g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±70nm(Sセンサー), ±140nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 51mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 80x17x8.5mm |
重量 | 51g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±80nm(Sセンサー), ±160nm(Lセンサー) |
SLC24シリーズ
SLC-24シリーズは、SLC-17同様に高い安定性と高精度に優れ、幅24mm、高さ10.5mmの外形で最大123mmまでの移動距離をラインナップに揃えています。
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● 主な仕様
ストローク | 16〜123mm | ステージ長 | 30〜180mm |
---|---|---|---|
エンコーダ分解能 | 1nm | ステージ幅 | 24mm |
推力 | 3.5N | ステージ高さ | 10.5mm |
最大耐荷重 | 20N | 重量 | 36〜216g |
最高速度 | 20mm/s | 真空対応 | HV・UHV |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 16mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 20N | 外形 | 30x24x10.5mm |
重量 | 36g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 29mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 45x24x10.5mm |
重量 | 54g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±45nm(Sセンサー), ±90nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 35mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 60x24x10.5mm |
重量 | 72g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±60nm(Sセンサー), ±120nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 49mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 75x24x10.5mm |
重量 | 72g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±75nm(Sセンサー), ±150nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 63mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 90x24x10.5mm |
重量 | 126g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±90nm(Sセンサー), ±180nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 69mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 105x24x10.5mm |
重量 | 126g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±105nm(Sセンサー), ±210nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 83mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
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耐荷重 | 30N | 外形 | 120x24x10.5mm |
重量 | 144g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±120nm(Sセンサー), ±240nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 103mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 150x24x10.5mm |
重量 | 180g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±150nm(Sセンサー), ±300nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 123mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 180x24x10.5mm |
重量 | 216g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±180nm(Sセンサー), ±360nm(Lセンサー) |
CLSシリーズ
CLSシリーズは、取付寸法を統一し多軸システムに構築し易いステージです。Stick-Slipのピエゾドライブユニットを取り外し可能な設計としました。
ピエゾドライブユニットが交換可能なため、簡単なメンテナンスと高い保守性を実現しました。
3種類の幅が異なるステージが用意されています。
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*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 21mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 32x32x11mm |
重量 | 33g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 31mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 32x52x11mm |
重量 | 54g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 51mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 30N | 外形 | 32x82x11mm |
重量 | 87g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 31mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.0N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 20N | 外形 | 52x52x14mm |
重量 | 94g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 51mm | 推力 | 水平方向:3.5N、垂直方向:1.0N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 20N | 外形 | 52x82x14mm |
重量 | 157g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 63mm | 推力 | 水平方向:3.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 20N | 外形 | 92x92x17mm |
重量 | 357g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 103mm | 推力 | 水平方向:3.5N |
---|---|---|---|
耐荷重 | 20N | 外形 | 92x152x17mm |
重量 | 558g | 最大速度 | 20mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー) |
SLシリーズ
SLシリーズは、最小11x11x5.2mmと超コンパクトな極小ピエゾステージです。
オープンループ制御ではありますが、設置面積が狭い場所でも長いストロークでの移動が可能です。
3種類のストロークが用意されています。
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● 主な仕様
ストローク | 4.5mm〜16mm | ステージ長 | 11mm〜31mm |
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エンコーダ分解能 | - | ステージ幅 | 11mm |
推力 | 最大1.6N | ステージ高さ | 5.2mm |
最大耐荷重 | 1N | 最高速度 | 10mm/s |
真空対応 | HV・UHV |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 4.5mm | 推力(水平方向) | 1.6N |
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推力(垂直方向) | 3.5N | 耐荷重 | 1N |
外形 | 11x11x5.2mm | 最大速度 | 10mm/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 11mm | 推力(水平方向) | 1.6N |
---|---|---|---|
推力(垂直方向) | 3.5N | 耐荷重 | 1N |
外形 | 21x11x5.2mm | 最大速度 | 10mm/s |
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 16mm | 推力(水平方向) | 1.6N |
---|---|---|---|
推力(垂直方向) | 3.5N | 耐荷重 | 1N |
外形 | 31x11x5.2mm | 最大速度 | 10mm/s |
SLLシリーズ
SLLシリーズは、光学ベンチとキャリアで構成されています。
Stick-Slipドライブはキャリアに内蔵していますので、1本の光学ベンチに複数のキャリアを配置して、電動化された光学ベンチセットアップとしてご使用いただくことが可能です。
レール幅12mmと42mmの2種理が用意されています。
エンドストップや除振台の固定穴に適合したアダプタなどのオプションも充実しています。
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● 主な仕様
ストローク | 35〜460・10〜1410mm | レール長 | 70〜475・70〜1480mm |
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エンコーダ分解能 | 1nm | レール幅 | 12/42mm |
推力 | 3 or 5N | ステージ高さ | 13/16mm |
最大耐荷重 | 30N | キャリア重量 | 44/148g |
最高速度 | 15mm/s | 真空対応 | HV |
SLL12は、幅12mmの光学ベンチにキャリアを搭載し、最長460mmまでのストロークを実現したステージです。
● オープンループ用
マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
● クローズドループ用
マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
オープンループ用
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
クローズドループ用
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 35〜460mm | 推力(水平方向) | 3N |
---|---|---|---|
推力(垂直方向) | 1N | 耐荷重 | 30N |
キャリア外形 | 27x13mm(オープンループ用) | 最大速度 | 15mm/s |
分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) | 繰返し精度(Closed loop時) | ±70nm〜±450nm(Sセンサー) |
SLL42は、幅42mmの光学ベンチにキャリアを搭載し、最長1410mmまでのストロークを実現したステージです。
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
● 主な仕様
移動距離 | 10〜1410mm | 推力(水平方向) | 5N |
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耐荷重 | 30N | キャリア外形 | 60x16mm(オープンループ用) |
最大速度 | 15mm/s | 分解能(Closed loop時) | 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) |
繰返し精度(Closed loop時) | ±70nm〜±450nm(Sセンサー) |