株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

フィジックステクノロジーは、ピエゾステージをはじめとする位置決め機器や、光学的手法を用いた計測技術を専門とした企業です。

047-370-8600

精密ステージ・測定器(精密ステージ:ピエゾステージ製品)


SLC17シリーズ

SLC17シリーズ

SLC-17シリーズは、数多くの実績を持つSmarAct社の代表的なリニアステージです。高い安定性と高精度に優れ、幅17mm、高さ8.5mmとコンパクトながら、クローズドループ用のフィードバックセンサを内蔵することも可能です。

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主な仕様

ストローク 12〜51mm ステージ長 20〜80mm
エンコーダ分解能 1nm ステージ幅 17mm
推力 3.5N ステージ高さ 8.5mm
最大耐荷重 20N 重量 13〜51g
最高速度 20mm/s 真空対応 HV・UHV

SLC-1720

SLC−1720 SLC−1720

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SLC−1720

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 12mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 20N 外形 22x17x8.5mm
重量 13g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±25nm(Sセンサー), ±50nm(Lセンサー)

SLC-1730

SLC−1730 SLC−1730

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SLC−1730

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主な仕様

移動距離 21mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 30x17x8.5mm
重量 20g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー)

SLC-1740

SLC−1740

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SLC−1740

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主な仕様

移動距離 26mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 40x17x8.5mm
重量 26g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±40nm(Sセンサー), ±80nm(Lセンサー)

SLC-1750

SLC−1750

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SLC−1750

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主な仕様

移動距離 31mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 50x17x8.5mm
重量 32g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

SLC-1760

SLC−1760

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SLC−1760

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主な仕様

移動距離 41mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 60x17x8.5mm
重量 38g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±60nm(Sセンサー), ±120nm(Lセンサー)

SLC-1770

SLC−1770

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SLC−1770

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主な仕様

移動距離 46mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 70x17x8.5mm
重量 45g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±70nm(Sセンサー), ±140nm(Lセンサー)

SLC-1780

SLC−1770

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SLC−1780

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主な仕様

移動距離 51mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 80x17x8.5mm
重量 51g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±80nm(Sセンサー), ±160nm(Lセンサー)

SLC24シリーズ

SLC24シリーズ

SLC-24シリーズは、SLC-17同様に高い安定性と高精度に優れ、幅24mm、高さ10.5mmの外形で最大123mmまでの移動距離をラインナップに揃えています。

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主な仕様

ストローク 16〜123mm ステージ長 30〜180mm
エンコーダ分解能 1nm ステージ幅 24mm
推力 3.5N ステージ高さ 10.5mm
最大耐荷重 20N 重量 36〜216g
最高速度 20mm/s 真空対応 HV・UHV

SLC-2430

SLC−2430

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SLC−2430

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主な仕様

移動距離 16mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 20N 外形 30x24x10.5mm
重量 36g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±30nm(Sセンサー), ±60nm(Lセンサー)

SLC-2445

SLC−2445

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SLC−2445

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主な仕様

移動距離 29mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 45x24x10.5mm
重量 54g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±45nm(Sセンサー), ±90nm(Lセンサー)

SLC-2460

SLC−2460

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SLC−2460

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主な仕様

移動距離 35mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 60x24x10.5mm
重量 72g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±60nm(Sセンサー), ±120nm(Lセンサー)

SLC-2475

SLC−2475

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SLC−2475

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主な仕様

移動距離 49mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 75x24x10.5mm
重量 72g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±75nm(Sセンサー), ±150nm(Lセンサー)

SLC-2490

SLC−2490

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SLC−2490

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主な仕様

移動距離 63mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 90x24x10.5mm
重量 126g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±90nm(Sセンサー), ±180nm(Lセンサー)

SLC-24105

SLC−24105

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SLC−24105

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主な仕様

移動距離 69mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 105x24x10.5mm
重量 126g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±105nm(Sセンサー), ±210nm(Lセンサー)

SLC-24120

SLC−24120

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SLC−24120

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主な仕様

移動距離 83mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 120x24x10.5mm
重量 144g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±120nm(Sセンサー), ±240nm(Lセンサー)

SLC-24150

SLC−24150

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SLC−24150

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主な仕様

移動距離 103mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 150x24x10.5mm
重量 180g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±150nm(Sセンサー), ±300nm(Lセンサー)

SLC-24180

SLC−24180

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SLC−24180

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主な仕様

移動距離 123mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 180x24x10.5mm
重量 216g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±180nm(Sセンサー), ±360nm(Lセンサー)

CLSシリーズ

CLSシリーズ

CLSシリーズは、取付寸法を統一し多軸システムに構築し易いステージです。Stick-Slipのピエゾドライブユニットを取り外し可能な設計としました。
ピエゾドライブユニットが交換可能なため、簡単なメンテナンスと高い保守性を実現しました。

3種類の幅が異なるステージが用意されています。

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CLS-3232

CLS-3232

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CLS-3232

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主な仕様

移動距離 21mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 32x32x11mm
重量 33g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

CLS-3252

CLS-3252

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

CLS-3252

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 31mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 32x52x11mm
重量 54g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

CLS-3282

CLS-3282

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

CLS-3282

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 51mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.5N
耐荷重 30N 外形 32x82x11mm
重量 87g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

CLS-5252

CLS-5252

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

CLS-5252

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 31mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.0N
耐荷重 20N 外形 52x52x14mm
重量 94g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

CLS-5282

CLS-5282

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

CLS-5282

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 51mm 推力 水平方向:3.5N、垂直方向:1.0N
耐荷重 20N 外形 52x82x14mm
重量 157g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

CLS-9292

CLS-9292

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

CLS-9292

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 63mm 推力 水平方向:3.5N
耐荷重 20N 外形 92x92x17mm
重量 357g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

CLS-92152

CLS-92152

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

CLS-92152

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 103mm 推力 水平方向:3.5N
耐荷重 20N 外形 92x152x17mm
重量 558g 最大速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±50nm(Sセンサー), ±100nm(Lセンサー)

SLシリーズ

SLシリーズ

SLシリーズは、最小11x11x5.2mmと超コンパクトな極小ピエゾステージです。

オープンループ制御ではありますが、設置面積が狭い場所でも長いストロークでの移動が可能です。

3種類のストロークが用意されています。

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主な仕様

ストローク 4.5mm〜16mm ステージ長 11mm〜31mm
エンコーダ分解能 - ステージ幅 11mm
推力 最大1.6N ステージ高さ 5.2mm
最大耐荷重 1N 最高速度 10mm/s
真空対応 HV・UHV

SL-06

SL-06

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SL-06

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 4.5mm 推力(水平方向) 1.6N
推力(垂直方向) 3.5N 耐荷重 1N
外形 11x11x5.2mm 最大速度 10mm/s

SL-0620

SL-0620

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SL-0620

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 11mm 推力(水平方向) 1.6N
推力(垂直方向) 3.5N 耐荷重 1N
外形 21x11x5.2mm 最大速度 10mm/s

SL-0630

SL-0630

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SL-0630

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 16mm 推力(水平方向) 1.6N
推力(垂直方向) 3.5N 耐荷重 1N
外形 31x11x5.2mm 最大速度 10mm/s

SLLシリーズ

SLLシリーズ

SLLシリーズは、光学ベンチとキャリアで構成されています。
Stick-Slipドライブはキャリアに内蔵していますので、1本の光学ベンチに複数のキャリアを配置して、電動化された光学ベンチセットアップとしてご使用いただくことが可能です。
レール幅12mmと42mmの2種理が用意されています。
エンドストップや除振台の固定穴に適合したアダプタなどのオプションも充実しています。

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主な仕様

ストローク 35〜460・10〜1410mm レール長 70〜475・70〜1480mm
エンコーダ分解能 1nm レール幅 12/42mm
推力 3 or 5N ステージ高さ 13/16mm
最大耐荷重 30N キャリア重量 44/148g
最高速度 15mm/s 真空対応 HV

SLL12

SLL12は、幅12mmの光学ベンチにキャリアを搭載し、最長460mmまでのストロークを実現したステージです。

● オープンループ用

マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

● クローズドループ用

マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。


SLL12

オープンループ用
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

SLL12

クローズドループ用
*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様

移動距離 35〜460mm 推力(水平方向) 3N
推力(垂直方向) 1N 耐荷重 30N
キャリア外形 27x13mm(オープンループ用) 最大速度 15mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー) 繰返し精度(Closed loop時) ±70nm〜±450nm(Sセンサー)

SLL42

SLL42は、幅42mmの光学ベンチにキャリアを搭載し、最長1410mmまでのストロークを実現したステージです。

SLL42

*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。

SLL42

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます


主な仕様

移動距離 10〜1410mm 推力(水平方向) 5N
耐荷重 30N キャリア外形 60x16mm(オープンループ用)
最大速度 15mm/s 分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサー), 4nm(Lセンサー)
繰返し精度(Closed loop時) ±70nm〜±450nm(Sセンサー)

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