株式会社フィジックス テクノロジー Physix Technology Inc.

精密ステージ

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オプトメカニクス

オプトメカニクス

オプトメカニクス

SmarAct社では、駆動モータとしてStick-Slipドライブの小型性を活かし、ミラーマウントやスリットユニットなど、様々な小型オプトメカニクスをご用意しております。
ピエゾステージと組み合わせて光学アライメントに最適です。
特に真空環境での光学アライメントには、狭いスペースでのご利用や自動化・リモート制御など幅広いニーズにご利用いただけます。


ミラーマウントSTTシリーズ

ミラーマウントSTTシリーズ

STTシリーズは、ミラーマウントとしてご利用いただける2軸チルトマウントです。
ミラーサイズに応じたラインアップをご用意しております。


STT-12.7

STT-12.7は、SmarAct社の最も小型のミラーマウントです。
0.5”のミラーを装着することができます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

STT-12.7
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*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
STT-12.7

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 STT-12.7
移動角度 ±2°
対応ミラー径 0.5”
外形 20x20x10mm
重量 20g
最大速度 15°/s
STT-25.4

STT-25.4は、1”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

STT-25.4
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STT-25.4

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 STT-25.4
移動角度 ±2.5°(クローズドループは±2.15°)
対応ミラー径 1”
外形 36x36x12mm
重量 25g
最大速度 15°/s
STT-50.8

STT-50.8は、2”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

STT-50.8
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STT-50.8

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主な仕様
型番 STT-50.8
移動角度 ±1°
対応ミラー径 2”
外形 61x61x18mm
重量 30g
最大速度 15°/s
STT-2013

STT-2013は、ジンバルタイプのミラーマウントです。
他のSTTミラーマウントはチルト角の移動範囲に制約がありますが、STT-2013は360°回転できるジンバル型になっています。
装着できるミラーは、0.5”と1”からお選びいただけます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

STT-2013
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STT-2013

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 STT-2013
移動角度 ±90°
対応ミラー径 0.5”または1”
外形 35x46x61mm
重量 75g
最大速度 45°/s
分解能(Closed loop時) 25μ°(Sセンサ)
アイリスSIDシリーズ

アイリスSIDシリーズ

SIDシリーズは、ピエゾで駆動できる電動アイリスです。
異なる開口径をラインアップにご用意しております。


SID-7

SID-7は、開口径7mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。

SID-7 SID-7図面拡大
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STT-12.7

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主な仕様
型番 SID-7
アパチャーサイズ 0.5〜7mm
外形 60x13x55mm
重量 100g
分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 4mm/s
SID-18

SID-18は、開口径18mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。

SID-18
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SID-18

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SID-18
アパチャーサイズ 2〜18mm
外形 60x13x55mm
重量 105g
分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s
SID-50

SID-50は、開口径18mmの電動アイリスです。 オプションでクローズドループ制御も可能です。

SID-50
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SID-50

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主な仕様
型番 SID-50
アパチャーサイズ 5〜50mm
外形 140x18x130mm
重量 530g
分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s
SID-5714

SID-5714は、最小完全遮光から最大25mmのアパチャーをもつ電動アイリスです。
オプションで高真空・超高真空・さらに非磁性対応のクローズドループ制御も可能です。アパチャーの範囲は3種類ご用意しております。

SID-5714
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SID-5714

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主な仕様
SID-5714-18
アパチャーサイズ 1.2〜18mm
外形 57x19.9x57mm
重量 130g
分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s
SID-5714-22
アパチャーサイズ 0〜22mm
外形 57x19.9x57mm
重量 130g
分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s
ID-5714-ID-25
アパチャーサイズ 4〜25mm
外形 57x19.9x57mm
重量 130g
分解能(Closed loop時) 1μm
開口速度 6mm/s

商品詳細
フィルタホイールSFWシリーズ

フィルタホイールSFWシリーズ

SFWシリーズは、ピエゾで駆動できる電動フィルタホイールです。
フィルタ数やフィルタサイズの異なるホイールをラインアップにご用意しております。


SFW-6-25.4

SFW-6-25.4は、直径1”のフィルタを6個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

SFW-6-25.4 SFW-6-25.4図面拡大
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SFW-6-25.4

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SFW-6-25.4
フィルタサイズ 1”
フィルタ数 6
外形 105x35x113mm
重量 260g
分解能(Closed loop時) 15μ°(Sセンサ)、60μ°(Lセンサ)
SFW-8-25.4 SFW-8-25.4_02.jpg

SFW-8-25.4は、直径1”のフィルタを8個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

主な仕様
型番 SFW-8-25.4
フィルタサイズ 1”
フィルタ数 8
外形 114x31x121mm
重量 300g
分解能(Closed loop時) 15μ°(Sセンサ)、60μ°(Lセンサ)
SFW-5-50.8

SFW-5-50.8は、直径2”のフィルタを5個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

SFW-5-50.8
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SFW-5-50.8

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SFW-5-50.8
フィルタサイズ 2”
フィルタ数 5
外形 165x35x172mm
重量 450g
分解能(Closed loop時) 15μ°(Sセンサ)、60μ°(Lセンサ)
SMS

スリットユニットSMSシリーズ

SMSシリーズは、スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットです。
フィードバックセンサを内蔵することも可能ですので、スリット位置を正確に制御することができます。
SMSシリーズには、1方向スリットと2方向スリットの2種類をご用意しております。


SMS-20-0

SMS-20-0は、一方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

SMS-20-0 SMS-20-0図面拡大
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SMS-20-0

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SMS-20-0
スリット軸数 1
スリット可動範囲 0〜20mm
外形 75x75x20mm
可動速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサ)、4nm(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±40
SMS-20-20

SMS-20-20は、二方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。

SMS-20-20
*マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
*拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SMS-20-20

*図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SMS-20-20
スリット軸数 2
スリット可動範囲 水平方向0〜20 / 垂直方向0〜20mm
外形 85x85x21mm
可動速度 20mm/s
分解能(Closed loop時) 1nm(Sセンサ)、4nm(Lセンサ)
繰返し精度(Closed loop時) ±40

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