精密ステージ
- 精密ステージ一覧開く
オプトメカニクス
オプトメカニクス
SmarAct社では、駆動モータとしてStick-Slipドライブの小型性を活かし、ミラーマウントやスリットユニットなど、様々な小型オプトメカニクスをご用意しております。
ピエゾステージと組み合わせて光学アライメントに最適です。
特に真空環境での光学アライメントには、狭いスペースでのご利用や自動化・リモート制御など幅広いニーズにご利用いただけます。
ミラーマウントSTTシリーズ
STTシリーズは、ミラーマウントとしてご利用いただける2軸チルトマウントです。
ミラーサイズに応じたラインアップをご用意しております。
STT-12.7は、SmarAct社の最も小型のミラーマウントです。
0.5”のミラーを装着することができます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
STT-25.4は、1”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
STT-50.8は、2”のミラーを装着することが可能なミラーマウントです。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
STT-2013は、ジンバルタイプのミラーマウントです。
他のSTTミラーマウントはチルト角の移動範囲に制約がありますが、STT-2013は360°回転できるジンバル型になっています。
装着できるミラーは、0.5”と1”からお選びいただけます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | STT-2013 |
|---|---|
| 移動角度 | ±90° |
| 対応ミラー径 | 0.5”または1” |
| 外形 | 35x46x61mm |
| 重量 | 75g |
| 最大速度 | 45°/s |
| 分解能（Closed loop時） | 25μ°（Sセンサー） |
アイリスSIDシリーズ
SIDシリーズは、ピエゾで駆動できる電動アイリスです。
異なる開口径をラインアップにご用意しております。
SID-7は、開口径7mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SID-18は、開口径18mmの電動アイリスです。
オプションでクローズドループ制御も可能です。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SID-50は、開口径18mmの電動アイリスです。 オプションでクローズドループ制御も可能です。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
SID-5714は、最小完全遮光から最大25mmのアパチャーをもつ電動アイリスです。
オプションで高真空・超高真空・さらに非磁性対応のクローズドループ制御も可能です。アパチャー範囲は３種類用意されています。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| SID-5714-18 | |
|---|---|
| アパチャーサイズ | 1.2〜18mm |
| 外形 | 57x19.9x57mm |
| 重量 | 130g |
| 分解能（Closed loop時） | 1μm |
| 開口速度 | 6mm/s |
| SID-5714-22 | |
| アパチャーサイズ | 0〜22mm |
| 外形 | 57x19.9x57mm |
| 重量 | 130g |
| 分解能（Closed loop時） | 1μm |
| 開口速度 | 6mm/s |
| ID-5714-ID-25 | |
| アパチャーサイズ | 4〜25mm |
| 外形 | 57x19.9x57mm |
| 重量 | 130g |
| 分解能（Closed loop時） | 1μm |
| 開口速度 | 6mm/s |
アフィルターホイールSFWシリーズ
SFWシリーズは、ピエゾで駆動できる電動フィルターホイールです。
フィルター数やフィルターサイズの異なるホイールをラインナップにご用意しております。
SFW-6-25.4は、直径1”のフィルターを6個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SFW-6-25.4 |
|---|---|
| フィルターサイズ | 1” |
| フィルター数 | 6 |
| 外形 | 105x35x113mm |
| 重量 | 260g |
| 分解能（Closed loop時） | 15μ°(Sセンサー)、60μ°(Lセンサー) |
SFW-8-25.4は、直径1”のフィルターを8個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
| 型番 | SFW-8-25.4 |
|---|---|
| フィルターサイズ | 1” |
| フィルター数 | 8 |
| 外形 | 114x31x121mm |
| 重量 | 300g |
| 分解能（Closed loop時） | 15μ°(Sセンサー)、60μ°(Lセンサー) |
SFW-5-50.8は、直径2”のフィルターを5個入れることができる電動ホイールです。
オプションで高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SFW-5-50.8 |
|---|---|
| フィルターサイズ | 2” |
| フィルター数 | 5 |
| 外形 | 165x35x172mm |
| 重量 | 450g |
| 分解能（Closed loop時） | 15μ°(Sセンサー)、60μ°（Lセンサー） |
スリットユニットSMS シリーズ
SMSシリーズは、スリットをピエゾで駆動する高精度なスリットユニットです。
フィードバックセンサを内蔵することも可能ですので、スリット位置を正確に制御することができます。
SMSシリーズには、1方向スリットと2方向スリットの2種類をご用意しております。
SMS-20-0は、一方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SMS-20-0 |
|---|---|
| スリット軸数 | 1 |
| スリット可動範囲 | 0〜20mm |
| 外形 | 75x75x20mm |
| 可動速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40 |
SMS-20-20は、二方向のスリットユニットです。
オプションで高真空・超高真空対応やクローズドループ制御も可能です。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
| 型番 | SMS-20-20 |
|---|---|
| スリット軸数 | 2 |
| スリット可動範囲 | 水平方向0〜20 / 垂直方向0〜20mm |
| 外形 | 85x85x21mm |
| 可動速度 | 20mm/s |
| 分解能（Closed loop時） | 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー） |
| 繰返し精度（Closed loop時） | ±40 |
