株式会社フィジックス テクノロジー　Physix Technology Inc.

精密ステージ

- 多軸ステージシステム（モジュラーシステム）
精密ステージ一覧開く

モジュラーシステム（多軸ステージシステム）

多軸ステージシステム一覧開く
モジュラーシステム

モジュラーシステム

SmarAct社のモジュラーシステムは、幾つかのリニアステージと回転ステージ、ゴニオステージに互換性を持たせ、お客様が簡単に複合システムを構築できるようにデザインしたモデルをご提供しております。
また、複雑なシステムを構築する場合に便利なベースプレートやスペーサ、ブラケットなど様々なアクセサリーもご用意しております。

　SmarAct 動画チャンネルはこちら

対応ステージ

こちらのステージは、モジュラーシステムに対応しており、複合システム構築が容易に実現出来ます。

リニアステージ：CLSシリーズ

CLS-3232
CLS-3232
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-3232
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-3232
移動距離 21mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 32x32x11mm
重量 33g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら
CLS-3252
CLS-3252
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-3252
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-3252
移動距離 31mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 32x52x11mm
重量 54g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら
CLS-3282
CLS-3282
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-3282
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-3282
移動距離 51mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.5N
耐荷重 30N
外形 32x82x11mm
重量 87g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）、4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら
CLS-5252
CLS-5252
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-5252
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-5252
移動距離 31mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N
耐荷重 30N
外形 52x52x14mm
重量 94g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）、4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら
CLS-5282
CLS-5282
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-5282
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-5282
移動距離 51mm
推力 水平方向：3.5N、垂直方向：1.0N
耐荷重 30N
外形 52x82x14mm
重量 157g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）, 4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら
CLS-92152
CLS-92152
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-92152
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-92152
移動距離 103mm
推力 水平方向：3.5N
耐荷重 20N
外形 92x152x17mm
重量 591g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）、4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら
CLS-9292
CLS-9292
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CLS-9292
＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます
主な仕様
型番 CLS-9292
移動距離 63mm
推力 水平方向：3.5N
耐荷重 20N
外形 92x92x17mm
重量 357g
最大速度 20mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）、4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら

ロータリーステージ：SRシリーズ

SR-3211

SR-3211は、CLS-32シリーズのリニアステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
超高真空や非磁性タイプのオプションもご用意しております。

SR-3211図面 SR-3211図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SR-3211図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SR-3211
移動角度 360°
推力 2Ncn
耐荷重 3N
外形 32x32x11mm
重量 35kg
最大速度 15°/s
分解能（Closed loop時） 25μ°
アパチャー -
商品詳細はこちら
SR-5014

SR-5014は、CLSシリーズのリニアステージやSGOゴニオステージと簡単に組み立てできるように設計されています。
高真空のオプションもご用意しております。

SR-5014図面 SR-5014図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
SR-5014図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 SR-5014
移動角度 360°
推力 5Ncn
耐荷重 20N
外形 50x50x14mm
重量 100kg
最大速度 30°/s
分解能（Closed loop時） 15μ°
アパチャー 8mm
商品詳細はこちら

Z軸ステージ：CHSシリーズ

CHS-3232-01.jpg

CHS-3232-1D-5は、高耐荷重でありながらコンパクトなZ軸ステージです。
分離型ドライブモジュールを採用し、耐荷重5N、移動ストローク5mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております

CHS-3232図面 CHS-3232図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CHS-3232図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CHS-3232-1D-5
移動距離 5mm
最大耐荷重 5N
外形 32x32x32mm
重量 100kg
最大速度 5mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）、4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら
CHS-5237-01

CHS-5237-1D-10は、分離ドライブ型モジュールを搭載した耐荷重10Nで移動ストローク10mmのZ軸ステージです。
高真空/超高真空のオプションもご用意しております。

CHS-5237図面 CHS-5237図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CHL-5237図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CHS-5237-1D-10
移動距離 10mm
最大耐荷重 10N
外形 52x52x37mm
重量 270kg
最大速度 2mm/s
分解能（Closed loop時） 1nm（Sセンサー）、4nm（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±40nm
商品詳細はこちら

ゴニオステージ：CGOシリーズ

CGO60.5.jpg

CGO-60.5は、60.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-77.5の上に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

CGO-60.5図面 CGO-60.5図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CGO-60.5図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CGO-60.5
移動角度 ±5°
推力 30Ncn
耐荷重 5N
外形 50x50x17mm
回転半径 60.5mm
重量 140kg
最大速度 4°/s
分解能（Closed loop時） 2μ°（Sセンサー）、8μ°（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±100μ°
　商品詳細はこちら
CGO-77.5

CGO-77.5は、77.5mmの回転半径をもつゴニオステージです。
CLS-52シリーズと組み合わせたり、CGO-60.5の下に取り付けて両方のゴニオステージを60.5mmの共通の回転中心を形成することが簡単にできます。
高真空や超高真空のオプションもご用意しております。

CGO-77.5図面 CGO-77.5図面拡大
＊マウスカーソルを合わせると拡大図面が開きます。
＊拡大状態で右クリックすると拡大図面を保存出来ます。
CGO-77.5図面拡大

＊図面画像上を2本指で広げますと拡大できます

主な仕様
型番 CGO-77.5
移動角度 ±5°
推力 38Ncn
耐荷重 5N
外形 50x50x17mm
回転半径 77.5mm
重量 140kg
最大速度 4°/s
分解能（Closed loop時） 2μ°（Sセンサー）、8μ°（Lセンサー）
繰返し精度（Closed loop時） ±100μ°
　商品詳細はこちら

アクセサリ

  • ベースプレート

    ベースプレート

    ベースプレートは、ステージを光学ベンチやブレッドボードに簡単に取り付けするためのプレートで、プレートにはステージを取り付ける穴に加えてケーブルを押さえるクランパーを取り付ける穴もあります。

  • スペーサ

    スペーサ

    スペーサは、ステージ対応した外形を持った各種サイズが用意されています。
    スペーサは、ブレッドボードに取り付けたり、ステージの上に取り付けることができます。

  • ブラケット

    ブラケット

    ブラケットは、ステージを垂直に固定しZ軸としてご利用される時に使用します。ブラケットは水平ステージの上またはベースプレートに取り付けることができ、SLCシリーズ、CLSシリーズ、回転ステージに対応した幾つかの種類をご用意しております。

  • アダプタープレート

    アダプタープレート

    水平ステージと回転ステージの組み合わせやブラケットと回転ステージを取り付ける場合に必要なアクセサリーです。
    アダプタープレートは、ご使用になるステージによって幾つかの種類をご用意しております。

  • 定荷重バネ

    定荷重バネ

    定荷重バネは、ステージを垂直に取り付ける時の静的荷重を持たせる場合に使用します。
    垂直に取り付けるステージとブラケットに固定可能です。

  • ケーブルクランパー

    ケーブルクランパー

    ケーブルクランパーは、ステージケーブルをベースプレートに固定するためのクランパーです。 ケーブル数に応じてサイズの異なるクランパーをご用意しております。

トップへ戻る

047-370-8600